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分子泵的原理分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，后被抽除

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分子泵的冷却方式有三种：1、自然冷却 2、强制风冷 3、水冷：

至于选择那种冷却方式可以根据当前分子泵的状态选择，但需要记住：分子泵工作的环境温度都要保持在 5~35 摄氏度之间，采取水冷时，要采用经过处理的软水，并且冷却水的温度和流量也要按照说明书的要求来做、

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分子泵直接清洗的方法如下： 1．关掉分子泵，进行排气。 2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。 3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等 4．拆掉润滑的油包 5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜.